单晶炉工作原理图

直拉法单晶炉示意图
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cz单晶炉坩埚材料的新选择
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一种采用水环式真空泵的直拉单晶炉装置
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一种降低上排气方式单晶炉的晶棒中氧含量的方法
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一种连续加料硅单晶炉
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一种单晶炉制造技术
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半导体单晶炉-单晶炉机械结构
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cz900a型单晶炉
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一种半导体单晶硅的拉晶炉
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一种基于plc的单晶炉水冷系统
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半导体工艺设备之单晶炉
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cn200974872y_一种具有保护气控制装置的直拉单晶炉失效
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单晶硅炉电源用滤波补偿装置
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一种单晶炉及其水冷组件制造技术
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一种长寿命石墨坩埚单晶炉的制作方法
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一种低能耗石墨坩埚单晶炉的制作方法
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一种直拉单晶炉热场装置制造方法及图纸
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一种具有引导式提拉机构的单晶炉的制作方法
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直拉单晶炉的结构如图所示,主要由炉体,电气部分,热系统,水冷系统
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半导体工艺设备之单晶炉
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