极紫外光刻技术
euv极紫外光刻技术
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图片尺寸1240x820下一代光刻技术:极紫外光刻技术的机制,发展前景及优缺点
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图片尺寸1882x1032光刻机分为紫外光源(uv),深紫外光源(duv),极紫外光源(euv).
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图片尺寸559x386不过,asml计划对华出口的高端极紫外光刻机(euv)仍在等待许可.
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