波像差

基于计算测量的光刻机投影物镜波像差在线检测新技术
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全激光矫正高阶像差
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(a)离焦;(b)低阶混合像差
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光刻机波像差原位检测:空间像快速算法与波像差检测方法
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听王雁教授谈"高阶像差":阳春白雪还是下里巴人?
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【眼视光】人眼波前像差
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紫金山天文台提出新的光学像差表征法
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不同像差的焦点
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锐视力大咖谈丨郝燕生教授谈人眼像差与视觉质量
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h-k5, d-zpk1a, h-qk3l和zf1, 生成的剩余波像差图和光程差曲线如图3
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