离子束溅射

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  图11.离子束溅射从靶上释放出高能粒子,从而获得了最高密度的涂层.

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  离子束溅射原理示意图

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  图 5: 在离子束溅射 (ibs) 过程中,强电场使离子束上的离子加速到目标

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  离子束溅射制备磁传感fega薄膜

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  离子束表面材料溅射

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