28nm光刻机

第一台28nm国产光刻机即将交付.
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小知识:光刻机哪个国家能造(高端光刻机只有荷兰能制作吗)-图6
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上海微电子首台28纳米封装光刻机
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我国第一台28nm国产光刻机最早将于明年交付
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